1-Achs Prealigner "Embedded"
- Ausrichtzeiten <2,5 Sekunden
- Transparente, halbtransparente,gelochte und undurchsichtige Waferausrichtbar
- Für Wafergrößen von 3" bis 18"
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Technischer Vertrieb iselRobotik Andreas Möller
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1-Achs Prealigner "Embedded"
1-Achs Prealigner (Embedded) arbeiten nur in Verbindung mit einem Isel Waferhandler und werden als zusätzlich Achse dem System eingebunden. Da dieser Prealigner über nur eine Achse verfügt (Rotation), werden im ersten Schritt Korrekturwerte zum Zentrieren des Wafers ermittelt und die Notch / Flat ausgerichtet. Im zweiten Schritt korrigiert der Roboter beim Abholen des Wafers den exzentrischen Versatz durch angepasste Stationskoordinaten. Mittels Vakuum zwischen Endeffektor und Prealigner ist der Wafer immer gesichert und wird an der Rückseite berührt. Dieser Prealigner ist eine kosteneffiziente Lösung für Standard Wafer von 45 mm Ø - 470 mm Ø.
Merkmale
- Ausrichtzeiten <2,5 Sekunden
- Berührungslose Messung mittels LEDund CCD-Sensor
- Integrierte Mess-Elektronik
- Chuck Load
- Wechsel auf eine andere Wafergröße ohne Umbau
- Transparente, halbtransparente,gelochte und undurchsichtige Waferausrichtbar
- SEMI, Flat und NotchWafer-Spezifikationen
- Für Wafergrößen von 3" bis 18"
- Anschlussfelder seitlich und von unten lieferbar
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Characteristics |
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Specifications |
Prealigner model |
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Standalone |
Embedded |
Edge handling |
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26-3 |
38-3 |
58-3 |
312-3 |
812-3 |
1218-3 |
25-1E |
38-1E |
58-1E |
312-1E |
812-1E |
1218-1E |
Type |
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Wafer |
2" |
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3" |
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100 mm |
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4EH, 45EH |
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125 mm |
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5EH, 45EH, 56EH |
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150 mm |
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6EH, 56EH |
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200 mm |
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8EH, 8ET |
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300 mm |
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12ET |
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450 mm |
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Square substrates |
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n/a |
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Angular accuracy |
10 000 CPR encoder |
0.04° |
n/a |
0.06° |
n/a |
0.04° |
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24 000 CPR encoder |
0.02° |
0.04° |
0.02° |
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Centering accuracy |
25 µm |
50 µm |
25 µm |
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Max initial offset |
10 mm |
12 mm |
9 mm |
10 mm |
1.7 to 2.0 mm |
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Body |
W |
173 mm |
95 mm |
173 mm |
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L |
267 mm |
317 mm |
404 mm |
266 mm |
328 mm |
267 or 317 mm |
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H |
190 mm |
191 mm |
190 to 196 mm |
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Weight |
5.0 to 5.7 kg |
3.4 to 3.8 kg |
5.3 to 6.0 kg |
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Servo axes |
three |
one |
three |
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Handling |
vacuum chuck and pins |
vacuum chuck |
edge handling |
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Facilities required |
100-240VAC, 50-60 Hz, 48 V A or 24 V DC/2A, vacuum 12" Hg for vacuum retention |
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Host interface |
RS232, Ethernet |
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Flat / Notch compatibility |
SEMI standards compliant |
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Wafer opacity |
transparent, semi-transparent and opaque |
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Cleanliness |
class 1 |
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MTBF |
more than 70000 hours |
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