1-Achs Prealigner "Embedded"

1-Achs Prealigner "Embedded"

1-Achs Prealigner (Embedded) arbeiten nur in Verbindung mit einem Isel Waferhandler und werden als zusätzlich Achse dem System eingebunden. Da dieser Prealigner über nur eine Achse verfügt (Rotation), werden im ersten Schritt Korrekturwerte zum Zentrieren des Wafers ermittelt und die Notch / Flat ausgerichtet. Im zweiten Schritt korrigiert der Roboter beim Abholen des Wafers den exzentrischen Versatz durch angepasste Stationskoordinaten. Mittels Vakuum zwischen Endeffektor und Prealigner ist der Wafer immer gesichert und wird an der Rückseite berührt. Dieser Prealigner ist eine kosteneffiziente Lösung für Standard Wafer von 45 mm Ø - 470 mm Ø.

Merkmale

• Ausrichtzeiten <2,5 Sekunden
• Berührungslose Messung mittels LEDund CCD-Sensor
• Integrierte Mess-Elektronik
• Chuck Load
• Wechsel auf eine andere Wafergröße ohne Umbau
• Transparente, halbtransparente,gelochte und undurchsichtige Waferausrichtbar
• SEMI, Flat und NotchWafer-Spezifikationen
• Für Wafergrößen von 3" bis 18"
• Anschlussfelder seitlich und von unten lieferbar