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Technischer Vertrieb iselRobotik Andreas Möller
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Wafer-Handling Roboter mit SHD-Dual-Arm und Serie SHD-Grundkörper
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Wafer-Handler der Serie SHD-Dual-Arm und Serie SHD Grundkörper werden dort eingesetzt, wo eine höhere bauliche Steifigkeit gefordert ist. Höchste Zuverlässigkeit und Genauigkeit durch integrierte 2-kanalige Vakuumanzeige.
Merkmale
- Handhabung von Wafern bis zu 450 mm
- höchste Zuverlässigkeit und Genauigkeit
- einfache Anbindung eines Linear Track an die Robotersteuerung
- sehr laufruhig
- spielfreie Harmonic Drive®-Getriebe
- Absolut- Encoder
- integrierte 2-kanalige Vakuumanzeige
- inklusive Advanced Controller & Software
- MTBF: > 50.000 Betriebstunden
- made in Germany
| Wiederholungsgenauigkeit |
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| Arbeitsbereich |
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| Nutzlast |
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| Max. Geschwindigkeit |
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| Netzanschluss |
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| Schnittstelle |
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| Gewicht | ca. 60 kg |
ROBOTIK Allgemein/Generally
