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Prealigner

Prealigner

Die Prealigner der Serie LPA sind eine innovative, hoch präzise, Class 1 Reinraum Lösung mit integrierter Scan Elektronik. Diese Prealigner ermöglichen das Ausrichten von 45 mm bis zu 480 mm Objekten, unabhängig vom Grad ihrer Transparenz. Sie zentrieren Wafer, Masken und andere Substrate, ermitteln Notch, Flat oder andere Marken und richten das Objekt exakt und eigenständig aus. Die Prealigner werden von Logosol Inc. USA entwickelt und produziert. Isel Germany AG ist autorisierter Exklusivdistributor für Europa.

1-Achs Prealigner

1-Achs Prealigner (Embedded) arbeiten nur in Verbindung mit einem Isel Waferhandler und werden als zusätzlich Achse dem System eingebunden. Da dieser Prealigner über nur eine Achse verfügt (Rotation), werden im ersten Schritt Korrekturwerte zum Zentrieren des Wafers ermittelt und die Notch / Flat ausgerichtet. Im zweiten Schritt korrigiert der Roboter beim Abholen des Wafers den exzentrischen Versatz durch angepasste Stationskoordinaten. Mittels Vakuum zwischen Endeffektor und Prealigner ist der Wafer immer gesichert und wird an der Rückseite berührt. Dieser Prealigner ist eine kosteneffiziente Lösung für Standard Wafer von 45 mm Ø - 470 mm Ø.

3-Achs Prealigner

3-Achs Prealigner (Standalone) sind selbstständig arbeitende Geräte, die Wafer sowie quadratische oder rechteckige Substrate von 45 mm Ø - 480 mm Ø, unabhängig vom Grad ihrer Transpatenz hochpräzise ausrichten. Das Ausrichten von unterschiedlichen Objekten mit mehreren unterschiedlichen Größen, wird ohne mechanische Anpassung am Prealigner realisiert. Der Prealigner verfügt über einen Chuck-Load und Pin-Load Modus sowie optional über High Precision Modus, Dual Layer Funktion (stacked Wafer), oder externe Sensoren zum detektieren einer Randmarke. Mittels Vakuum an Chuck und Pins, wird der Wafer immer sicher gehalten und nur an der Rückseite berührt. Optional sind viele verschiedene Kontaktmaterialien für Chuck und Pins, sowie Friction Chucks (ohne Vakuum) verfügbar. Da die 3-Achs Prealigner autark arbeiten und sowohl eine RS232, als auch eine Ethernet Schnittstelle besitzen, können die Geräte in jedes Robotersystem integriert werden.

Edge Handling Prealigner

Edge Handling Prealigner sind autark arbeitende Geräte mit passivem Kontakt im Randbereich des Wafers. Das garantiert höchste Reinheit und Stressfreiheit im Umgang mit Wafern von 75 mm Ø - 300 mm Ø. Optional ist auch hier eine High Precision Variante verfügbar.

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