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Wafer-Handler

Wafer-Handler für das Transportieren von Wafern, Masken und Substraten

Das Aushängeschild der iselRobotik sind Roboter für das Transportieren von Wafern, Masken und Substraten in der Halbleiterindustrie. Diese Wafer-Handler erfüllen die strengen Reinraum ISO 1 Anforderungen und überzeugen außerdem durch Präzision und Zuverlässigkeit. Seit über 10 Jahren werden diese Wafer-Handler in den unterschiedlichsten Wafer-Bearbeitungszellen, Sortern und Inspektionsanlagen weltweit sehr erfolgreich eingesetzt. Durch das Baukasten-Prinzip und einer großen Auswahl an Grundkörpern und Armeinheiten, sind sehr viele Kombinationsmöglichkeiten aus Standardkomponenten realisierbar.

Waferhandler der Serie 1

Roboter der Serie 1 sind für das Waferhandling konzipiert. Durch das Baukastensystem sind verschiedene Grundkörper von 7“ bis 21“ Z-Hub, mit vielen verschiedenen Armbaugruppen von 10,5“ bis 28“ kombinierbar. Abhängig von der Kombination der Achsen sind so Handhabungsgewichte bis 3 kg möglich.

Waferhandler der Serie 3 mit Single Arm

Roboter der Serie 3 mit Single Arm werden dort eingesetzt, wo eine höhere bauliche Steifigkeit gefordert ist. Damit können Lasten von bis zu 5 kg auch in Kombination mit langen Armbaugruppen und großem Z-Hub bis 21“ realisiert werden.

Waferhandler der Serie 3 mit Dual Arm

Roboter der Serie 3 mit Dual Arm besitzen das Potenzial, den Durchsatz einer Anwendung zu steigern. Durch die beiden unabhängigen Arme, können Wafer sehr schnell ausgetauscht und somit Leerfahrten vermieden werden.

In absteigender Reihenfolge

In absteigender Reihenfolge

Die Anbindung weiterer Komponenten an den Isel Wafer-Handler (IWH), wie z.B. Mapping Sensor, Flipmodul, Alignment on the Fly Sensoren, Prealigner, Lineareinheit oder auch kundenspezifischer Endeffektor, ist einfach zu realisieren. Die Ansteuerung des Isel Wafer-Handlers erfolgt entweder über den integrierten Standard Controller, oder über den optional verfügbaren Advanced Controller. Der Betrieb mit einem Fremdcontroller ist ebenfalls möglich. Ein riesiges Portfolio an vorinstallierten Makros steht Ihnen bei der Programmierung zur Verfügung.