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Serie 1

Waferhandler der Serie 1

Roboter der Serie 1 sind für das Waferhandling konzipiert. Durch das Baukastensystem sind verschiedene Grundkörper von 7“ bis 21“ Z-Hub, mit vielen verschiedenen Armbaugruppen von 10,5“ bis 28“ kombinierbar. Abhängig von der Kombination der Achsen sind so Handhabungsgewichte bis 3 KG mit den Wafer-Handler möglich.

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