Serie 3 mit Dual Arm

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Wafer-Handler der Serie 3 mit Dual Arm

Roboter der Serie 3 mit Dual Arm besitzen das Potenzial den Durchsatz einer Anwendung zu steigern. Durch die beiden unabhängigen Arme der Wafer-Handler, können Wafer einer Station sehr schnell ausgetauscht und somit Leerfahrten vermieden werden.

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