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Serie 3 mit Single Arm

Waferhandler der Serie 3 mit Single Arm

Roboter der Serie 3 mit Single Arm werden dort eingesetzt, wo eine höhere bauliche Steifigkeit gefordert ist. Damit können Lasten von bis zu 3 Kg auch in Kombination mit langen Armbaugruppen und großem Z-Hub bis 21“ mit diesen Wafer-Handler realisiert werden.

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