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Wafer Sensoren | Zubehör

Wafer Mapping Sensor IMS-EX43/73-QS, IMS-EX83/93-Q

Die Mapping Sensoren ermitteln die genaue Position von Wafern in einer Kassette (Slot-Zuordnung, Biegung und Lage des Wafers). Die Wafer Mapping Sensoren bieten eine schnelle und zuverlässige Erkennung von Halbleiter Wafern. Dieser Off-the-shelf-Sensor hat eine hohe Empfindlichkeit, um dünne und dunkel beschichtete Wafer jeder Größe zu erkennen. Der Mapping Sensor hat keine beweglichen Teile, die zu einer partikulären Kontamination führen könnten. Verfügbar sind die Mapping Sensoren in der Ausführung QS für eine Messdistanz von 38 mm (1,5“) oder 56 mm (2,2“) und in der Ausführung Q von 76mm (3,0“) oder 114mm (4,5“).

Wafer Mapping Sensor IMS-MDW1

Der speziell für die Halbleiterindustrie konzipierte Wafer Mapping Sensor arbeitet nach dem Doppel-Triangulationsprinzip und besitzt eine Messdistanz von 45mm. Die fokussierende Sendeoptik und das neuartige Zwei-Segment-Empfangselement garantieren eine präzise Positionserkennung von Wafern (> 3 Zoll), unabhängig von deren Dicke und Beschichtung. Anwendungsgebiete dieses Triangulationslichttasters sind u. a. in der Prozesstechnik (z. B. Waferbelackungs und -belichtungsautomaten etc.) der Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie.

Through Beam Sensor

Der Einsatz von Through Beam Sensoren, z.B. in der Spitze eines Horse Shoe Endeffektors, ist eine Alternative zu den universell einsetzbaren reflektiv arbeitenden Mapping Sensoren. Die Vorteile dieser Methode sind zum Einen, die Unempfindlichkeit gegen speziell reflektierende, oder Licht schluckende Beschichtungen, oder Materialien, sowie die Kosteneffizienz gegenüber konventionellen Mapping Sensoren. Konstruktionsbedingt ist dies jedoch nicht bei allen Endeffektoren möglich. Bitte sprechen Sie uns auf mögliche Lösungen an, die wir auch neben den Standards realisieren können.

Flip Modul IFM-300-3

Das Flip Modul gibt dem Anwender die Möglichkeit, Wafer und andere Substrate um einen festen Winkel zu drehen, ohne diese ablegen zu müssen. Durch die Verwendung von justierbaren Endanschlägen, elektronischen Rampen und stufenlos einstellbaren Geschwindigkeiten, wird eine hohe Präzision garantiert. Nahezu alle Endeffektoren, sowie ein optionaler Mapping Sensor können montiert werden. Ein Einsatz ist nicht bei allen Robotermodellen möglich.

Handterminal IHT (Standard Controller)

Das Handterminal IHT für den integrierten Standard Controller versetzt den Anwender in die Lage zwischen Terminal Funktion und Teach Funktion (JOG Modus) zu wählen und eine Programmierung des Roboters ohne Computer durchzuführen. Durch die kompakte Bauweise und das Spiralkabel, hat der Anwender auch die Möglichkeit sich einfacher um die Anlage herum zu bewegen und somit auch alleine Positionen anpassen zu können.

Teach Pendand (Advanced Controller)

Das Teach Pendant des Advanced Controllers ist die neueste Entwicklung in unserem Produktportfolio. Es bietet dem Anwender die Möglichkeit den Wafer-Handler ohne weitere Person hochpräzise und sicher zu bewegen, sowie Stationen zu programmieren, oder anzupassen. Das 6,5“ Touch Display mit dem Innovativen GUI, ermöglicht intuitives und einfaches Arbeiten für den Anwender und ist zusätzlich mit Softkeys ausgestattet die z.B. die Auswahl einzelner Achsen und Schrittweiten ermöglichen. Die Meisten Anwender werden jedoch das integrierte Handrad schätzen lernen, was das Einrichten von Stationen enorm beschleunigt. Weitere wichtige Features sind der „Tot-Mann-Schalter“, sowie das Einhalten der sicheren Geschwindigkeit im Einrichtmodus, welche nach den Sicherheitsrichtlinien für Industrie-Roboter benötigt wird. Somit ist sichergestellt das auch eine Person alleine gefahrlos einen Roboter direkt in der Zelle anlernen kann.

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