Serie 3 mit Single Arm

Waferhandler der Serie 3 mit Single Arm

Roboter der Serie 3 mit Single Arm werden dort eingesetzt, wo eine höhere bauliche Steifigkeit gefordert ist. Damit können Lasten von bis zu 3 Kg auch in Kombination mit langen Armbaugruppen und großem Z-Hub bis 21“ mit diesen Wafer-Handler realisiert werden.