1-Achs Logosol Prealigner "Embedded"

Artikelnummer
1-Achs Preagliner "Embedded"
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Auf Anfrage
  • Ausrichtzeiten <2,5 Sekunden
  • Transparente, halbtransparente, gelochte und undurchsichtige Waferausrichtbar
  • Für Wafergrößen von 3" bis 18"
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Technischer Vertrieb iselRobotik


Andreas Möller

   Andreas Möller
     

1-Achs Logosol Prealigner "Embedded"

Die Logosol Prealigner sind innovative, hochpräzise, Klasse 1 kompatible Logosol Prealigner-Lösungen mit integrierter Scan-Elektronik.
Die Logosol Prealigner sind geschützte Produkte von Logosol, Inc. USA www.logosolinc.com

 

Merkmale

  • Ausrichtzeiten <2,5 Sekunden
  • Berührungslose Messung mittels LEDund CCD-Sensor
  • Integrierte Mess-Elektronik
  • Chuck Load
  • Wechsel auf eine andere Wafergröße ohne Umbau
  • Transparente, halbtransparente,gelochte und undurchsichtige Waferausrichtbar
  • SEMI, Flat und NotchWafer-Spezifikationen
  • Für Wafergrößen von 3" bis 18"
  • Anschlussfelder seitlich und von unten lieferbar

Die Informationen auf dieser Seite sind das alleinige Eigentum von Logosol, Inc. www.logosolinc.com

ROBOTIK Allgemein/Generally
pdf
(Größe: 4.8 MB)
Last update 2024/03/08

Specifications

Logosol Prealigner model

Standalone

Embedded

Edge handling

26-3

38-3

58-3

312-3

812-3

1218-3

25-1E

38-1E

58-1E

312-1E

812-1E

1218-1E

Type

Wafer
diameter

2"

3"

100 mm

4EH, 45EH

125 mm

5EH, 45EH, 56EH

150 mm

6EH, 56EH

200 mm

8EH, 8ET

300 mm

12ET

450 mm

Square substrates

n/a

Angular accuracy
(3 sigma)

10 000 CPR encoder

0.04°

n/a

0.06°

n/a

0.04°

24 000 CPR encoder

0.02°

0.04°

0.02°

Centering accuracy
(3 sigma)

25 µm

50 µm

25 µm

Max initial offset

10 mm

12 mm

9 mm

10 mm

1.7 to 2.0 mm

Body
dimensions

W

173 mm

95 mm

173 mm

L

267 mm

317 mm

404 mm

266 mm

328 mm

267 or 317 mm

H

190 mm

191 mm

190 to 196 mm

Weight

5.0 to 5.7 kg

3.4 to 3.8 kg

5.3 to 6.0 kg

Servo axes

three

one

three

Handling

vacuum chuck and pins

vacuum chuck

edge handling

Facilities required

100-240VAC, 50-60 Hz, 48 V A or 24 V DC/2A, vacuum 12" Hg for vacuum retention

Host interface

RS232, Ethernet

Flat / Notch compatibility

SEMI standards compliant

Wafer opacity

transparent, semi-transparent and opaque

Cleanliness

class 1

MTBF

more than 70000 hours