IWH Serie 1 mit 2-Link-Kompaktarm und Serie 1-Grundkörper 7″

Artikelnummer
IWH Series 1 - 7inch
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  • Ausgezeichnete bauliche Steifigkeit
  • Höchste Ausfallsicherheit
  • Made in Germany
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Technischer Vertrieb iselRobotik


Andreas Möller

   Andreas Möller

IWH Serie 1 mit 2-Link-Kompaktarm und 7" Standard-Grundkörper

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Wafer-Handler der Serie 1 sind für das Waferhandling konzipiert. Durch das Baukastensystem sind verschiedene Grundkörper von 7" - 21" Z-Hub, mit vielen verschiedenen Armbaugruppen von 10,5" bis 28" kombinierbar. Abhängig von der Kombination der Achsen sind so Handhabungsgewichte bis 1 kg möglich.

Merkmale

  • wafer-Handling bis zu 200 mm
  • ausgezeichnete bauliche Steifigkeit und Präzision
  • höchste Ausfallsicherheit
  • optional oben montiert (TA) oder unten montiert (BA)
  • kundenspezifische Anpassungen möglich
  • inkrementelle Encoder
  • einfache Anbindung von Prealigner, Linear Track und anderen Peripherien an die Robotersteuerung
  • inklusive Standard Controller & Software
  • ISO 1-reinraumkompatibel
  • MTBF: >70.000 Betriebsstunden
  • made in Germany
Mehr Informationen
Wiederholungsgenauigkeit
  • T: +/- 0,02 °
  • R: +/- 0,02 mm
  • Z: +/- 0,02 mm
Arbeitsbereich
  • Z: 7"
  • radial: 10", 14"
  • theta: 450°
Nutzlast
  • bis zu 1 kg
Max. Geschwindigkeit
  • T: 360°/s
  • R: 1.000 mm/s
  • Z: 450 mm/s
Netzanschluss
  • 110 / 230 V AC
Schnittstelle
  • RS-232 [DB9]
  • Ethernet [RJ-45]
Gewicht
  • ca. 19 kg
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