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IWH Serie 3 mit 2-Link-Dual-Arm und Serie 3-Grundkörper

  • integrierte 2-kanalige Vakuumanzeige
  • inklusive Standard oder Advanced Controller & Software
  • ISO 1-reinraumkompatibel
  • Made in Germany

Verfügbarkeit: Verfügbar

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Technischer Vertrieb iselRobotik


Andreas Möller

   Andreas Möller

IWH Serie 3 mit Dual Arm

Wafer-Handler der Serie 3 mit Dual Arm besitzen das Potenzial, den Durchsatz einer Anwendung zu steigern. Durch die beiden unabhängigen Arme, können Wafer sehr schnell ausgetauscht und somit Leerfahrten vermieden werden.

Merkmale

  • Ausgezeichnete bauliche Steifigkeit
  • Handhabung von Wafern bis zu 300 mm
  • höchste Zuverlässigkeit und Genauigkeit
  • einfache Anbindung eines Linear Track an die Robotersteuerung
  • sehr laufruhig
  • spielfreie Harmonic Drive®-Getriebe
  • Absolut-, Inkrementelle Encoder oder Resolver
  • integrierte 2-kanalige Vakuumanzeige
  • inklusive Standard oder Advanced Controller & Software
  • ISO 1-reinraumkompatibel
  • MTBF: > 50.000 Betriebstunden
  • made in Germany

Zusatzinformation

Wiederholungsgenauigkeit
  • +/- 0,02 mm
Arbeitsbereich
  • Z: 7", 10", 13", 15", 17"
  • radial: 10", 14"
  • theta: 500
Nutzlast
  • max. 1,25 kg / Arm
Max. Geschwindigkeit/Max. Beschleunigung
  • T: 360°/s
  • R: 1100 mm/s
  • Z: 425 mm/s
Netzanschluss
  • 110 / 230 V AC
Schnittstelle
  • RS-232 [DB9]
  • Ethernet [RJ-45]
Artikelbeschreibung

IWH Serie 3 mit Dual Arm

Wafer-Handler der Serie 3 mit Dual Arm besitzen das Potenzial, den Durchsatz einer Anwendung zu steigern. Durch die beiden unabhängigen Arme, können Wafer sehr schnell ausgetauscht und somit Leerfahrten vermieden werden.

Merkmale

  • Ausgezeichnete bauliche Steifigkeit
  • Handhabung von Wafern bis zu 300 mm
  • höchste Zuverlässigkeit und Genauigkeit
  • einfache Anbindung eines Linear Track an die Robotersteuerung
  • sehr laufruhig
  • spielfreie Harmonic Drive®-Getriebe
  • Absolut-, Inkrementelle Encoder oder Resolver
  • integrierte 2-kanalige Vakuumanzeige
  • inklusive Standard oder Advanced Controller & Software
  • ISO 1-reinraumkompatibel
  • MTBF: > 50.000 Betriebstunden
  • made in Germany
Technische Details

Zusatzinformation

Wiederholungsgenauigkeit
  • +/- 0,02 mm
Arbeitsbereich
  • Z: 7", 10", 13", 15", 17"
  • radial: 10", 14"
  • theta: 500
Nutzlast
  • max. 1,25 kg / Arm
Max. Geschwindigkeit/Max. Beschleunigung
  • T: 360°/s
  • R: 1100 mm/s
  • Z: 425 mm/s
Netzanschluss
  • 110 / 230 V AC
Schnittstelle
  • RS-232 [DB9]
  • Ethernet [RJ-45]
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