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IWH Serie SHD (SHD-Dual-Arm und Serie SHD Grundkörper)

  • höchste Zuverlässigkeit und Genauigkeit
  • integrierte 2-kanalige Vakuumanzeige
  • inklusive Advanced Controller & Software

 

Verfügbarkeit: Verfügbar

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Technischer Vertrieb iselRobotik


Andreas Möller

   Andreas Möller

Wafer-Handling Roboter mit SHD-Dual-Arm und Serie SHD-Grundkörper

Wafer-Handler der Serie SHD-Dual-Arm und Serie SHD Grundkörper werden dort eingesetzt, wo eine höhere bauliche Steifigkeit gefordert ist. Höchste Zuverlässigkeit und Genauigkeit durch integrierte 2-kanalige Vakuumanzeige.


Merkmale

  • Handhabung von Wafern bis zu 450 mm
  • höchste Zuverlässigkeit und Genauigkeit
  • einfache Anbindung eines Linear Track an die Robotersteuerung
  • sehr laufruhig
  • spielfreie Harmonic Drive®-Getriebe
  • Absolut- Encoder
  • integrierte 2-kanalige Vakuumanzeige
  • inklusive Advanced Controller & Software
  • MTBF: > 50.000 Betriebstunden
  • made in Germany

Zusatzinformation

Wiederholungsgenauigkeit
  • T: +/- 0,02°/s
  • R: +/- 0,02 mm
  • Z: +/- 0,02 mm
Arbeitsbereich
  • Z: 13", 15"
  • radial: 14"
  • theta: 450°
Nutzlast
  • bis zu 3 kg / Arm
Max. Geschwindigkeit
  • T: 250°/s
  • R: 800 mm/s
  • Z: 300 mm/s
Netzanschluss
  • 110 / 230 V AC
Schnittstelle
  • RS-232 [DB9]
  • Ethernet [RJ-45]
Gewicht ca. 60 kg
Artikelbeschreibung

Wafer-Handling Roboter mit SHD-Dual-Arm und Serie SHD-Grundkörper

Wafer-Handler der Serie SHD-Dual-Arm und Serie SHD Grundkörper werden dort eingesetzt, wo eine höhere bauliche Steifigkeit gefordert ist. Höchste Zuverlässigkeit und Genauigkeit durch integrierte 2-kanalige Vakuumanzeige.


Merkmale

  • Handhabung von Wafern bis zu 450 mm
  • höchste Zuverlässigkeit und Genauigkeit
  • einfache Anbindung eines Linear Track an die Robotersteuerung
  • sehr laufruhig
  • spielfreie Harmonic Drive®-Getriebe
  • Absolut- Encoder
  • integrierte 2-kanalige Vakuumanzeige
  • inklusive Advanced Controller & Software
  • MTBF: > 50.000 Betriebstunden
  • made in Germany
Technische Details

Zusatzinformation

Wiederholungsgenauigkeit
  • T: +/- 0,02°/s
  • R: +/- 0,02 mm
  • Z: +/- 0,02 mm
Arbeitsbereich
  • Z: 13", 15"
  • radial: 14"
  • theta: 450°
Nutzlast
  • bis zu 3 kg / Arm
Max. Geschwindigkeit
  • T: 250°/s
  • R: 800 mm/s
  • Z: 300 mm/s
Netzanschluss
  • 110 / 230 V AC
Schnittstelle
  • RS-232 [DB9]
  • Ethernet [RJ-45]
Gewicht ca. 60 kg
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