WAFER HANDLING ROBOT | IWH mit SHD Super Heavy Duty Arm und SHD Körper

Artikelnummer
IWH Series SHD with SHD super heavy duty dual arm and SHD body
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  • ausgezeichnete strukturelle Steifigkeit
  • bewährt bei der Handhabung von Platten
  • höchste Zuverlässigkeit und Präzision
  • nahtlose Integration mit Prealigner, Linearführung und anderen peripheren Komponenten
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Technischer Vertrieb iselRobotik


Andreas Möller

   Andreas Möller
     

Wafer-Handling Roboter mit SHD-Dual-Arm und Serie SHD-Grundkörper

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Wafer-Handler der Serie SHD-Dual-Arm und Serie SHD Grundkörper werden dort eingesetzt, wo eine höhere bauliche Steifigkeit gefordert ist. Höchste Zuverlässigkeit und Genauigkeit durch integrierte 2-kanalige Vakuumanzeige.


Merkmale

  • Handhabung von Wafern bis zu 450 mm
  • höchste Zuverlässigkeit und Genauigkeit
  • einfache Anbindung eines Linear Track an die Robotersteuerung
  • sehr laufruhig
  • spielfreie Harmonic Drive®-Getriebe
  • Absolut- Encoder
  • integrierte 2-kanalige Vakuumanzeige
  • inklusive Advanced Controller & Software
  • MTBF: > 50.000 Betriebstunden
  • made in Germany
ROBOTIK Allgemein/Generally
pdf
(Größe: 4.8 MB)
Last update 2024/03/08
Wiederholungsgenauigkeit T ±0.02°  
R ±0.02 mm  
Z ±0.02 mm  
Arbeitsbereich Z 13", 15"  
radial 14", 16"  
theta 500°  
Nutzlast   bis zu 5 kg (pro arm)*  
Max. Geschwindigkeit T 180°/s  
R 800 mm/s  
Z 300 mm/s  
Netzanschluss   115 – 230 VAC 50 – 60 Hz800 VA  
Schnittstelle   RS-232 [DB9], Ethernet [RJ-45]  
Gewicht   ca. 60 kg  

*depending on arm confguration