Edge Handling Logosol Prealigner LPA-Series

SKU
3-Achs Prealigner Egde Handling
Szállítási idő
on request
  • 2''-tól 12''-ig terjedő ostyaméretekhez
  • Igazítási ciklusidő < 3,5 másodperc
  • Ismétlési pontosság: lineáris 0,025 mm, körkörös 0,02°
  • Átlátszó, félig átlátszó, lyukasztott és átlátszatlan ostyák igazíthatóak
Do you have any questions?

Edge Handling Logosol Prealigner LPA-Series

Leírás

A Logosol előigazítók innovatív, nagy pontosságú, 1. osztályú, kompatibilis Logosol előigazító megoldások, integrált letapogató elektronikával.
A Logosol előigazítók a Logosol, Inc. szabadalmaztatott termékei. USAwww.logosolinc.com

Characteristics

  • innovatív All-in-one-dizájn
  • Alignment cycke timw < 3.5 másodperc
  • Ismétlési pontosság: lineáris ±0,025 mm, körkörös ± 0,05°
  • Érintésmentes mérés LED és CCD érzékelő segítségével
  • Integrált letapogató elektronika
  • önállóan is képes
  • Chuck- vagy Pinload, valamint ostyaméret változtatás gépi változtatás nélkül
  • átlátszó, félig átlátszó, lyukasztott és átlátszatlan ostyák igazíthatóak
  • SEMI, Flat és Notch wafer specifikációk
  • 2''-tól 12''-ig terjedő ostyaméretekhez
  • Alulról és oldalról bevezetett kábelkonfigurációk

Az ezen az oldalon található információk a Logosol, Inc. kizárólagos tulajdonát képezik. www.logosolinc.com

ROBOTIK Allgemein/Generally
pdf
(Size: 4.8 MB)
Last update 2024/03/08

Characteristics

Specifications

Logosol Prealigner model

Standalone

Embedded

Edge handling

26-3

38-3

58-3

312-3

812-3

1218-3

25-1E

38-1E

58-1E

312-1E

812-1E

1218-1E

Type

Wafer
diameter

2"

3"

100 mm

4EH, 45EH

125 mm

5EH, 45EH, 56EH

150 mm

6EH, 56EH

200 mm

8EH, 8ET

300 mm

12ET

450 mm

Square substrates

n/a

Angular accuracy
(3 sigma)

10 000 CPR encoder

0.04°

n/a

0.06°

n/a

0.04°

24 000 CPR encoder

0.02°

0.04°

0.02°

Centering accuracy
(3 sigma)

25 µm

50 µm

25 µm

Max initial offset

10 mm

12 mm

9 mm

10 mm

1.7 to 2.0 mm

Body
dimensions

W

173 mm

95 mm

173 mm

L

267 mm

317 mm

404 mm

266 mm

328 mm

267 or 317 mm

H

190 mm

191 mm

190 to 196 mm

Weight

5.0 to 5.7 kg

3.4 to 3.8 kg

5.3 to 6.0 kg

Servo axes

three

one

three

Handling

vacuum chuck and pins

vacuum chuck

edge handling

Facilities required

100-240VAC, 50-60 Hz, 48 V A or 24 V DC/2A, vacuum 12" Hg for vacuum retention

Host interface

RS232, Ethernet

Flat / Notch compatibility

SEMI standards compliant

Wafer opacity

transparent, semi-transparent and opaque

Cleanliness

class 1

MTBF

more than 70000 hours