Capteurs pour wafers | Accessoires

Capteur de cartographie de wafers IMS-MDW1

Le capteur de cartographie de wafers spécialement conçu pour l'industrie des semi-conducteurs fonctionne selon le principe de la double triangulation et possède une distance de mesure de 45mm. L'optique d'émission focalisante et le nouvel élément de réception à deux segments garantissent une détection précise de la position des wafers (> 3 pouces), indépendamment de leur épaisseur et de leur revêtement. Les domaines d'application de ce détecteur à triangulation sont, entre autres, la technique des processus (par ex. les automates de vernissage et d'exposition de wafers, etc.) de l'industrie des semi-conducteurs et de la microélectronique.

Capteur à faisceau traversant

L'utilisation de capteurs Through Beam, par exemple dans la pointe d'un effecteur d'extrémité Horse Shoe, est une alternative aux capteurs de cartographie universels fonctionnant par réflexion. Les avantages de cette méthode sont, d'une part, l'insensibilité aux revêtements ou matériaux spécialement réfléchissants ou absorbant la lumière et, d'autre part, la rentabilité par rapport aux capteurs de cartographie conventionnels. Pour des raisons de construction, cette méthode n'est toutefois pas possible pour tous les effecteurs d'extrémité. N'hésitez pas à nous contacter pour connaître les solutions possibles que nous pouvons réaliser en dehors des standards.

Module à bascule IFM-300-3

Le module Flip permet à l'utilisateur de faire pivoter les wafers et autres substrats d'un angle fixe sans avoir à les déposer. L'utilisation de butées de fin de course réglables, de rampes électroniques et de vitesses réglables en continu, garantit une grande précision. Presque tous les effecteurs d'extrémité, ainsi qu'un capteur de cartographie en option, peuvent être montés. L'utilisation n'est pas possible sur tous les modèles de robots.

Terminal manuel IHT (contrôleur standard)

Le terminal manuel IHT pour le contrôleur standard intégré permet à l'utilisateur de choisir entre la fonction terminal et la fonction d'apprentissage (mode JOG) et d'effectuer une programmation du robot sans ordinateur. Grâce à la construction compacte et au câble spiralé, l'utilisateur a également la possibilité de se déplacer plus facilement autour de l'installation et de pouvoir ainsi adapter seul les positions.

Teach Pendand (contrôleur avancé)

Le pendant d'apprentissage de l'Advanced Controller est le dernier développement de notre gamme de produits. Il offre à l'utilisateur la possibilité de déplacer le manipulateur de wafers avec une grande précision et en toute sécurité, ainsi que de programmer ou d'adapter des stations sans l'aide d'une autre personne. L'écran tactile de 6,5" avec son interface utilisateur graphique innovante permet à l'utilisateur de travailler de manière intuitive et simple et est en outre équipé de touches programmables qui permettent par exemple de sélectionner des axes et des pas individuels. La plupart des utilisateurs apprécieront toutefois la manivelle intégrée, qui accélère considérablement le réglage des stations. D'autres caractéristiques importantes sont l'interrupteur "homme mort" et le maintien de la vitesse de sécurité en mode de réglage, qui est nécessaire selon les directives de sécurité pour les robots industriels. Il est ainsi garanti qu'une personne seule peut apprendre un robot directement dans la cellule, sans danger.