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Prealigner

Les Prealigners de la série LPA sont une solution innovante de haute précision pour les salles blanches, de classe 1, avec une électronique de balayage intégrée. Ces pré-aligneurs permettent d'aligner des objets de 45 mm à 480 mm, quel que soit leur degré de transparence. Ils centrent les wafers, masques et autres substrats, détectent les notch, flat ou autres marques et alignent l'objet avec précision et de manière autonome. Les Prealigner sont développés et fabriqués par Logosol Inc. USA. Isel Germany AG est le distributeur exclusif autorisé pour l'Europe.

prealigner à 1 axe

les pré-aligneurs à 1 axe (embarqués) ne fonctionnent qu'en combinaison avec un manipulateur de plaquettes Isel et sont intégrés au système comme axe supplémentaire. Comme ce pré-aligneur ne dispose que d'un seul axe (rotation), la première étape consiste à déterminer les valeurs de correction pour le centrage du wafer et à aligner le notch / flat. Dans un deuxième temps, le robot corrige le décalage excentrique lors de l'enlèvement de la plaquette en adaptant les coordonnées de la station. Grâce au vide entre l'effecteur final et le pré-aligneur, le wafer est toujours sécurisé et touché sur sa face arrière. Ce pré-aligneur est une solution rentable pour les wafers standard de 45 mm Ø - 470 mm Ø.

préaligneur à 3 axes

les Prealigners 3 axes (autonomes) sont des appareils autonomes qui alignent avec une grande précision les wafers et les substrats carrés ou rectangulaires de 45 mm Ø - 480 mm Ø, indépendamment de leur degré de transpatence. L'alignement de différents objets de plusieurs tailles différentes est réalisé sans adaptation mécanique sur le Prealigner. Le Prealigner dispose d'un mode Chuck-Load et Pin-Load ainsi que, en option, d'un mode High Precision, d'une fonction Dual Layer (stacked wafer) ou de capteurs externes pour détecter un repère de bord. Grâce au vide au niveau du chuck et des pins, le wafer est toujours maintenu en toute sécurité et n'est touché que sur sa face arrière. De nombreux matériaux de contact différents sont disponibles en option pour le chuck et les pins, ainsi que des chucks à friction (sans vide). Comme les prealigners à 3 axes fonctionnent de manière autonome et possèdent une interface RS232 et Ethernet, les appareils peuvent être intégrés dans n'importe quel système robotisé.

Edge Handling Prealigner

Les Edge Handling Prealigners sont des appareils autonomes avec contact passif sur le bord de la tranche. Cela garantit une pureté maximale et une absence de stress lors de la manipulation de wafers de 75 mm Ø à 300 mm Ø. Une variante haute précision est également disponible en option.