Logosol Prealigner

Logosol Prealigner

Les préaligneurs Logosol de la série LPA sont une solution innovante, de haute précision, pour salle blanche de classe 1, avec électronique de balayage intégrée. Ces préaligneurs Logosol permettent d'aligner des objets de 45 mm à 480 mm, quel que soit leur degré de transparence. Ils centrent les wafers, les masques et autres substrats, détectent les encoches, les plats ou autres marques et alignent l'objet avec précision et de manière indépendante.

Les préaligneurs Logosol sont des solutions de préalignement Logosol innovantes, de haute précision, compatibles avec la classe 1 et dotées d'une électronique de balayage intégrée. Les préaligneurs Logosol sont des produits exclusifs de Logosol, Inc. USA www.logosolinc.com

Single-axis Logosol prealigners

Les préaligneurs Logosol à axe unique (embarqués) ne fonctionnent qu'avec un manipulateur de plaquettes isel et sont intégrés dans le système en tant qu'axe supplémentaire. Étant donné que ce pré-aligneur Logosol n'a qu'un seul axe (rotation), la première étape consiste à déterminer les valeurs de réglage pour centrer la plaquette et aligner l'encoche/le méplat. Dans un deuxième temps, le robot ajuste le décalage excentrique lors de la prise de la plaquette avec des coordonnées de station adaptées. Un vide entre l'effecteur et le pré-aligneur Logosol garantit que la plaquette est sécurisée à tout moment et qu'elle est en contact avec l'arrière. Ce pré-aligneur Logosol est une solution économique pour les plaquettes standard de 45 mm Ø ; - 470 mm Ø ;.

Triple-axis Logosol prealigners

Les pré-aligneurs Logosol à trois axes (autonomes) sont des appareils qui fonctionnent indépendamment et alignent des substrats carrés ou rectangulaires de 45 mm Ø ; - 480 mm Ø ; avec une grande précision, quelle que soit leur transparence. L'alignement d'objets de tailles différentes se fait sans réglage mécanique du pré-aligneur Logosol. Le pré-aligneur Logosol dispose d'un mode de chargement du mandrin et d'un mode de chargement de la broche et, en option, d'un mode de haute précision Logosol, d'une fonction double couche (plaquettes empilées) ou de capteurs externes pour la détection des marques de bord. Un vide entre le mandrin et les broches garantit que la tranche de silicium est sécurisée à tout moment et qu'elle est en contact à l'arrière. Un grand nombre de matériaux de contact différents pour les mandrins et les broches, ainsi que des mandrins à friction (sans vide) sont disponibles en option. Étant donné que les préaligneurs Logosol à trois axes fonctionnent de manière autonome et disposent d'une interface RS232 et d'une interface Ethernet, les appareils peuvent être intégrés dans n'importe quel système robotique.

"Edge handling"Logosol prealigners

Manipulation des bords Les préaligneurs Logosol sont des appareils qui fonctionnent de manière autonome avec un contact passif dans la zone des bords de la plaquette. Cela garantit le plus haut niveau de pureté et d'absence de stress lors de la manipulation de plaquettes de 75 mm Ø ; - 300 mm Ø ;. Une variante de haute précision Logosol est également disponible en option.

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