Manipulateur de plaquettes

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Manipulateurs de wafers pour le transport de wafers, de masques et de substrats

Les robots pour le transport de plaquettes, de masques et de substrats dans l'industrie des semi-conducteurs sont le fleuron d'iselRobotik. Ces manipulateurs de wafers répondent aux exigences strictes des salles blanches ISO 1 et convainquent en outre par leur précision et leur fiabilité. Depuis plus de 15 ans, ces manipulateurs de wafers sont utilisés avec succès dans les cellules de traitement de wafers, les trieuses et les installations d'inspection les plus diverses dans le monde entier. Grâce au principe modulaire et à un grand choix de corps de base et d'unités de bras, de très nombreuses possibilités de combinaison de composants standard sont réalisables.

Manipulateurs de wafers de la série 1

Les robots de la série 1 sont conçus pour la manipulation de wafers. Grâce au système modulaire, différents corps de base de 7" à 21" de course Z, peuvent être combinés avec de nombreux ensembles de bras différents de 10,5" à 28". En fonction de la combinaison des axes, il est ainsi possible de manipuler des poids allant jusqu'à 3 kg.

Manipulateurs de wafers de la série 3 avec bras unique

Les robots de la série 3 à bras unique sont utilisés là où une plus grande rigidité de construction est requise. Il est ainsi possible de réaliser des charges allant jusqu'à 5 kg, même en combinaison avec de longs ensembles de bras et une grande course en Z jusqu'à 21".

Manipulateurs de wafers de la série 3 avec double bras

Les robots de la série 3 à double bras ont le potentiel d'augmenter le débit d'une application. Grâce aux deux bras indépendants, les plaquettes peuvent être remplacées très rapidement, ce qui permet d'éviter les trajets à vide.


La connexion d'autres composants à l'Isel Wafer-Handler (IWH), comme par ex Capteur de cartographie, Module de flip, Alignment on the Fly capteurs, Préaligneur, Unité linéaire ou encore des composants spécifiques au client Effecteur final, est facile à réaliser. La commande du manipulateur de wafers Isel s'effectue soit par l'intermédiaire de l'interface intégrée Contrôleur standard, ou par l'intermédiaire du Contrôleur avancé. Le fonctionnement avec un contrôleur tiers est également possible. Un énorme portefeuille de macros préinstallées est à votre disposition pour la programmation.