Highlights
- ISO 1-reinraumkompatibel
- Absolut (digital) oder inkremental Encoder
- Inklusive Robot Control Center (RCC)
- Made in Germany
Fakten
Produkttyp
Semiconductor
Merkmale
- Ausgezeichnete bauliche Steifigkeit
- Höchste Ausfallsicherheit und Präzision
- Kundenspezifische Anpassungen möglich
Optionen
- High-End Controller zum kontrollieren von komplexen Systemen
- Einfache Anbindung von Prealigner, Linear Track und anderen Peripherien an die Robotersteuerung
- Montage oben (TA) oder unten (BA)
iWH Serie 1 mit 3-Link-HD-Arm und Serie 1 Grundkörper
Wafer-Handler der Serie 1 sind für das Waferhandling konzipiert. Durch das Baukastensystem sind verschiedene Grundkörper von 7" bis 21" Z-Hub, mit vielen verschiedenen Armbaugruppen von 10,5" bis 28" kombinierbar. Abhängig von der Kombination der Achsen sind so Handhabungsgewichte bis 3 kg möglich.
| iWH 1 | 2 Link-HD-Arm - Series 1 | |
|---|---|
| Wiederholungsgenauigkeit | T: +/- 0,02 ° R: +/- 0,02 mm Z: +/- 0,02 mm |
| Arbeitsbereich | Z: 10", 13", 17", 21" radial: 10", 12", 14", 16", 20" theta: 450° |
| Nutzlast | bis zu 3 kg |
| Max. Geschwindigkeit | T: 360°/s - 1500°/s2 R: 1000 mm/s - 4500 mm/s2 Z: 450 mm/s - 2000 mm/s2 |
| Netzanschluss | 110 / 230V AC |
| Schnittstelle | RS-232 [DB9] Ethernet [RJ-45] |
| Gewicht | ca. 25 – 32 kg |
Heavy Duty-Serie 1
iWH 1 - 3-Link-HD-Arm
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