Highlights
- integrierte 2-kanalige Vakuumanzeige
- inklusive Advanced Controller & Software
- ISO 1-reinraumkompatibel
- Made in Germany
Fakten
Produkttyp
Semiconductor
Merkmale
- Ausgezeichnete bauliche Steifigkeit
- Handhabung von Wafern bis zu 300 mm
- höchste Zuverlässigkeit und Genauigkeit
- einfache Anbindung eines Linear Track an die Robotersteuerung
- sehr laufruhig
- spielfreie Harmonic Drive®-Getriebe
- Absolut-, Inkrementelle Encoder oder Resolver
- MTBF: > 50.000 Betriebstunden
Optionen
- High-End Controller zum kontrollieren von komplexen Systemen
- Einfache Anbindung von Prealigner, Linear Track und anderen Peripherien an die Robotersteuerung
- Montage oben (TA) oder unten (BA)
iWH 2 - 2-Link-Dual-Arm Serie 3
Dieser hochmoderne Wafer-Handling-Roboter bietet eine ausgezeichnete bauliche Steifigkeit und ist speziell dafür konzipiert, Wafer bis zu einem Durchmesser von 300 mm mit höchster Zuverlässigkeit und Präzision zu handhaben.
Dank der einfachen Anbindung eines Linear Tracks an die Robotersteuerung können Sie mühelos komplexe Bewegungsabläufe integrieren. Der Wafer Handling Robot zeichnet sich durch seinen äußerst laufruhigen Betrieb aus, was ihn ideal für empfindliche Produktionsumgebungen macht. Die spielfreien Harmonic Drive®-Getriebe garantieren Ihnen dabei höchste Genauigkeit und Langlebigkeit.
Unsere Technologie ermöglicht es Ihnen, zwischen Absolut-, Inkrementelle Encodern oder Resolvern zu wählen, um Ihren spezifischen Anforderungen gerecht zu werden. Eine integrierte 2-kanalige Vakuumanzeige sorgt zusätzlich für maximale Kontrolle und Sicherheit während des Betriebs.
Der Roboter wird inklusive eines Standard oder Advanced Controllers sowie passender Software geliefert, sodass Sie sofort startklar sind. Entwickelt für den Einsatz in ISO 1-reinraumkompatiblen Umgebungen, erfüllt er die höchsten Standards der Reinheit und Qualität.
Mit einer mittleren Betriebsdauer zwischen Ausfällen (MTBF) von über 50.000 Stunden steht dieser Roboter für herausragende Zuverlässigkeit und Leistung. Gefertigt in Deutschland, vereint er erstklassiges Ingenieurwesen und innovative Technologien.
Technische Daten
| iWH SHD Super Heavy Duty | |
|---|---|
| Wiederholungsgenauigkeit | T: +/- 0,02 ° R: +/- 0,02 mm Z: +/- 0,02 mm |
| Arbeitsbereich | Z: 7", 10", 13", 15", 17", 21" radial: 10", 14" theta: 500° |
| Nutzlast | bis zu 1,25 kg (pro Arm)* |
| Max. Geschwindigkeit | T: 360°/s R: 1100 mm/s Z: 425 mm/s |
| Netzanschluss | 115 – 230 VAC 50 – 60 Hz 550 VA |
| Schnittstelle | RS-232 [DB9] Ethernet [RJ-45] |
| Gewicht | ca. 25 - 40 kg |