Highlights
- integrierte 2-kanalige Vakuumanzeige
- inklusive Advanced Controller & Software
- ISO 1-reinraumkompatibel
- Made in Germany
Fakten
Produkttyp
Semiconductor
Merkmale
- ausgezeichnete strukturelle Steifigkeit
- bewährt bei der Handhabung von Platten
- höchste Zuverlässigkeit und Präzision
- nahtlose Integration mit Prealigner, Linearführung und anderen peripheren Komponenten
Optionen
- High-End Controller zum kontrollieren von komplexen Systemen
- Einfache Anbindung von Prealigner, Linear Track und anderen Peripherien an die Robotersteuerung
- Montage oben (TA) oder unten (BA)
iWH 2 - 2-Super Heavy Duty Arm + Body Serie SHD
Entdecken Sie den Wafer Handling Robot – die ultimative Lösung für Ihre Anforderungen in der Plattenhandhabung. Dieses hochentwickelte Gerät zeichnet sich durch seine ausgezeichnete strukturelle Steifigkeit aus, die Ihnen eine herausragende Leistung und Langlebigkeit garantiert.
Der Wafer Handling Robot hat sich bei der Handhabung von Platten bewährt und bietet Ihnen höchste Zuverlässigkeit und Präzision. Mit diesem Roboter können Sie sicher sein, dass Ihre Prozesse effizient und fehlerfrei ablaufen.
Die nahtlose Integration mit Prealigner, Linearführung und anderen peripheren Komponenten macht diesen Roboter zu einem unverzichtbaren Bestandteil Ihrer Produktionslinie. Er ermöglicht es Ihnen, bestehende Systeme mühelos zu erweitern und zu optimieren.
Technische Daten
| iWH SHD Super Heavy Duty | |
|---|---|
| Wiederholungsgenauigkeit | T: +/- 0,02 ° R: +/- 0,02 mm Z: +/- 0,02 mm |
| Arbeitsbereich | Z: 13", 15" radial: 14", 16" theta: 500° |
| Nutzlast | bis zu 5 kg (pro Arm)* |
| Max. Geschwindigkeit | T: 180°/s R: 800 mm/s Z: 300 mm/s |
| Netzanschluss | 115 – 230 VAC 50 – 60 Hz800 VA |
| Schnittstelle | RS-232 [DB9] Ethernet [RJ-45] |
| Gewicht | ca. 60 kg |
*depending on arm confguration