Die iLD Linear Track Serie.

Um den Aktionsradius des Roboters zu vergrößern, lässt sich das Handlingsystem einfach um eine weitere, vollständig in das System integrierte Achse erweitern. Je nach Anwendung kann die Montage unterhalb des Waferhandlers oder mit seitlich montiertem Waferhandler ausgeführt werden. Durch die Verwendung von Linearmotoren sind die Linearachsen sehr dynamisch, wartungsarm und laufruhig. Sie erreichen hohe Beschleunigungswerte und Geschwindigkeiten, fahren Positionen sehr präzise an und arbeiten durch den Wegfall mechanischer Verbindungsglieder praktisch verschleißfrei. Durch die Segmentbauweise sind Längen bis 32 Meter mit Absolutwertgeber realisierbar.

Die isel-Lineareinheiten der Serie iLD sind auf biegesteifen Aluminiumprofilen aufgebaut. Die Führungen bestehen aus bewährten Profilführungsschienen und Wellenschlitten mit Kugelumlauf. Ebenso integriert ist das magnetische Längenmesssystem. isel-Linearmotoreinheiten haben in diesem Bereich den Vorteil hoher Beschleunigungen und Verfahrgeschwindigkeiten. Die eisenbehafteten Linearmotoren können sehr hohe Dauerkräfte erreichen. Eine optional lieferbare integrierte Bremse ermöglicht den Einsatz der iLD auch in vertiklaler Anordnung. Durch das Konzept "made by isel" kann ein optimales Preis-Leistungsverhältnis geboten werden, was für Sie als Kunde sehr kurze Amortisationszeiten bedeutet.