Highlights
- Innovatives All-in-one-Design
- Integrierte Mess Elektronik
- Transparente, halbtransparente,gelochte und undurchsichtige Wafer ausrichtbar
Fakten
Produkttyp
Merkmale
- Innovatives All-in-one-Design
- Ausrichtzeiten < 3,5 Sekunden
- Ausrichtgenauigkeiten: linear 0,025 mm, zirkular 0,02°
- Berührungslose Messung mittels LED und CCD-Sensor
- Integrierte Mess Elektronik
- Standalone-fähig
- Chuck- oder Pinload sowie Wechsel auf eine andere Wafergröße ohne Umbau
- Transparente, halbtransparente,gelochte und undurchsichtige Wafer ausrichtbar
- SEMI, Flat und Notch Wafer-Spezifikationen
- Für Wafergrößen von 4" bis 12"
- Anschlussfelder seitlich und von unten lieferbar
Optionen
Die Logosol Prealigner sind innovative,
hochpräzise, Klasse 1 kompatible Logosol
Prealigner-Lösungen mit integrierter
Scan-Elektronik.
Die Logosol Prealigner sind geschützte
Produkte von Logosol, Inc. USA
www.logosolinc.com
Logosol
Prealigner Edge Handling
Edge Handling Logosol Prealigner sind autark arbeitende Geräte mit passivem Kontakt im Randbereich des Wafers. Das garantiert höchste Reinheit und Stressfreiheit im Umgang mit Wafern von 75 mm Ø - 300 mm Ø. Optional ist auch hier eine High Precision Variante verfügbar.
Technische Daten
Specifications click PDF.