Highlights
- Ausrichtzeiten <2,5 Sekunden
- Transparente, halbtransparente, gelochte und undurchsichtige Waferausrichtbar
- Für Wafergrößen von 3" bis 18"
Fakten
Produkttyp
Merkmale
- Ausrichtzeiten <2,5 Sekunden
- Berührungslose Messung mittels LEDund CCD-Sensor
- Integrierte Mess-Elektronik
- Chuck Load
- Wechsel auf eine andere Wafergröße ohne Umbau
- Transparente, halbtransparente,gelochte und undurchsichtige Waferausrichtbar
- SEMI, Flat und NotchWafer-Spezifikationen
- Für Wafergrößen von 3" bis 18"
- Anschlussfelder seitlich und von unten lieferbar
Optionen
Die Logosol Prealigner sind innovative,
hochpräzise, Klasse 1 kompatible Logosol
Prealigner-Lösungen mit integrierter
Scan-Elektronik.
Die Logosol Prealigner sind geschützte
Produkte von Logosol, Inc. USA
www.logosolinc.com
Logosol
Prealigner Embedded
1-Achs Logosol Prealigner (Embedded) arbeiten nur in Verbindung mit einem Isel Waferhandler und werden als zusätzlich Achse dem System eingebunden. Da dieser Logosol Prealigner über nur eine Achse verfügt (Rotation), werden im ersten Schritt Korrekturwerte zum Zentrieren des Wafers ermittelt und die Notch / Flat ausgerichtet. Im zweiten Schritt korrigiert der Roboter beim Abholen des Wafers den exzentrischen Versatz durch angepasste Stationskoordinaten. Mittels Vakuum zwischen Endeffektor und Logosol Prealigner ist der Wafer immer gesichert und wird an der Rückseite berührt. Dieser Logosol Prealigner ist eine kosteneffiziente Lösung für Standard Wafer von 45 mm Ø - 470 mm Ø.
The Logosol Prealigners are proprietary products of Logosol Inc. USA www.logosolinc.com.
Technische Daten
Specifications click PDF.