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Wafer-Handler für das Transportieren 
von Wafern, Masken und Substraten

Das Aushängeschild der isel Robotik sind Roboter für das Transportieren von Wafern, Masken und Substraten in der Halbleiterindustrie. Diese Wafer-Handler erfüllen die strengen Reinraum ISO 1 Anforderungen und überzeugen außerdem durch Präzision und Zuverlässigkeit. Seit über 15 Jahren werden diese Wafer-Handler in den unterschiedlichsten Wafer-Bearbeitungszellen, Sortern und Inspektionsanlagen weltweit sehr erfolgreich eingesetzt. Durch das Baukasten-Prinzip und einer großen Auswahl an Grundkörpern und Armeinheiten, sind sehr viele Kombinationsmöglichkeiten aus Standardkomponenten realisierbar.

Melanie Schulz

Vertrieb Semiconductor

+49 (0) 6659 981-737
melanie.schulz@isel.com

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Teach Pendant

Das Teach Pendant des Advanced Controllers ist die neueste Entwicklung in unserem Produktportfolio. Es bietet dem Anwender die Möglichkeit den Wafer-Handler ohne weitere Person hochpräzise und sicher zu bewegen, sowie Stationen zu programmieren, oder anzupassen. Das 6,5“ Touch Display mit dem Innovativen GUI, ermöglicht intuitives und einfaches Arbeiten für den Anwender und ist zusätzlich mit Softkeys ausgestattet die z.B. die Auswahl einzelner Achsen und Schrittweiten ermöglichen. Die Meisten Anwender werden jedoch das integrierte Handrad schätzen lernen, was das Einrichten von Stationen enorm beschleunigt.

Teach Pendant

Lineartrack

Die Lineareinheiten der Serie iLD mit Linearmotoren ermöglichen eine Erweiterung des Aktionsradius eines Roboters durch Hinzufügen einer vollständig integrierten Achse. Je nach Bedarf kann die Montage entweder unterhalb oder seitlich des Waferhandlers erfolgen. Dank Linearmotoren zeichnen sich die Achsen durch hohe Dynamik, Wartungsarmut und Laufruhe aus. Sie bieten präzise Positionierungen, hohe Beschleunigungswerte und Geschwindigkeiten bei nahezu verschleißfreiem Betrieb. Längen bis zu 32 Meter sind mittels Segmentbauweise und Absolutwertgebern realisierbar.

iLD Linear Track

Endeffektoren

Unsere speziell entwickelten Endeffektoren sind für das Handling von Wafern optimiert und eignen sich hervorragend für den Transport, beispielsweise von einer Kassette zum Prealigner. Diese Werkzeuge sind in Größen von 2“ (50mm) bis 12“ (300mm) erhältlich und in den Varianten Horse Shoe oder Paddle verfügbar. Dank ihres geringen Eigengewichts und ihrer hohen Steifigkeit sind sie unverzichtbar für Ihre Fertigungsprozesse.

Endeffektoren

Endeffektor-Wechsler

Der Endeffektor-Wechsler ist ein hochmodernes, vollautomatisches System, das speziell für den effizienten und nahtlosen Wechsel von Endeffektoren entwickelt wurde. Ausgestattet mit einem fortschrittlichen Software Effektor-Management, gewährleistet der Endeffektor-Wechsler eine präzise Steuerung und Verwaltung Ihrer Endeffektoren. Der Wechsler ist universell kompatibel und eignet sich für alle Arten von Endeffektoren.

Wafer Mapping Sensor

Der speziell für die Halbleiterindustrie konzipierte Wafer Mapping Sensor arbeitet nach dem Doppel-Triangulationsprinzip und besitzt eine Messdistanz von 45mm. Die fokussierende Sendeoptik und das neuartige Zwei-Segment-Empfangselement garantieren eine präzise Positionserkennung von Wafern (> 3 Zoll), unabhängig von deren Dicke und Beschichtung. Anwendungsgebiete dieses Triangulationslichttasters sind u. a. in der Prozesstechnik (z. B. Waferbelackungs und -belichtungsautomaten etc.) der Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie.

Through Beam Sensor

Der Einsatz von Through Beam Sensoren, z.B. in der Spitze eines Horse Shoe Endeffektors, ist eine Alternative zu den universell einsetzbaren reflektiv arbeitenden Mapping Sensoren. Die Vorteile dieser Methode sind zum Einen, die Unempfindlichkeit gegen speziell reflektierende, oder Licht schluckende Beschichtungen, oder Materialien, sowie die Kosteneffizienz gegenüber konventionellen Mapping Sensoren. Konstruktionsbedingt ist dies jedoch nicht bei allen Endeffektoren möglich. Bitte sprechen Sie uns auf mögliche Lösungen an, die wir auch neben den Standards realisieren können.

Flip Modul

Das Flip Modul gibt dem Anwender die Möglichkeit, Wafer und andere Substrate um einen festen Winkel zu drehen, ohne diese ablegen zu müssen. Durch die Verwendung von justierbaren Endanschlägen, elektronischen Rampen und stufenlos einstellbaren Geschwindigkeiten, wird eine hohe Präzision garantiert. Nahezu alle Endeffektoren, sowie ein optionaler Mapping Sensor können montiert werden. Ein Einsatz ist nicht bei allen Robotermodellen möglich.

Unser Katalog für 
Wafer Handling Roboter

Unsere Produkte sind speziell entwickelt und konstruiert für die Halbleiterindustrie. Wenn Sie spezielle Anwendungen oder Produktanforderungen kontaktieren Sie uns. 

Mit mehreren tausend Systemen im Einsatz und vielen Jahren Erfahrung freuen wir uns auf Ihre Anfragen.

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