Handling von Wafern mit
speziell entwickelten Endeffektoren
Unsere hochspezialisierten Endeffektoren wurden speziell für das Handling von Wafern entwickelt. Diese präzisen Werkzeuge sind ideal für den Transport von Wafern, beispielsweise von einer Kassette zum Prealigner. Die Standard-Endeffektoren sind in Größen von 2“ (50mm) bis 12“ (300 mm) erhältlich und bieten Ihnen die Wahl zwischen der Horse Shoe- oder Paddle-Variante.
Unsere Endeffektoren zeichnen sich durch ihr geringes Eigengewicht und ihre hohe Steifigkeit aus, was sie zu einem unverzichtbaren Bestandteil Ihrer Fertigungsprozesse macht. Darüber hinaus können wir diese mit einer Vielzahl an Kontaktmaterialien wie PTFE, PEEK, VITON, KALREZ und vielen weiteren Optionen liefern, um Ihren spezifischen Anforderungen gerecht zu werden.
Sonderausführungen
Neben unseren Standards bieten wir auch zahlreiche Sonderausführungen an, die auf Ihre speziellen Wafer und Substrate abgestimmt sind. Unser Expertenteam steht Ihnen zur Verfügung, um maßgeschneiderte Lösungen zu entwickeln, die perfekt auf Ihre Bedürfnisse zugeschnitten sind. Vertrauen Sie auf unsere Expertise und optimieren Sie Ihre Produktionsabläufe mit unseren innovativen Endeffektoren.
- Pocket EE
- Friction Wafer
- Edge Grip EE
- Exclusion zone Grip EE
- Exclusion zone Vacuum EE
- Multiple EE
- Through Beam EE
- Individuelle Lösungen
Optionen
- Diverse Wafer Mapping Sensoren
- Verschiedene Oberflächenbeschichtungen
- Vakuumauswertereinheit
- Flipmodul
- Pusher