Handling with wafers.

Endeffektoren

Handling von Wafern mit

speziell entwickelten Endeffektoren

Unsere hochspezialisierten Endeffektoren wurden speziell für das Handling von Wafern entwickelt. Diese präzisen Werkzeuge sind ideal für den Transport von Wafern, beispielsweise von einer Kassette zum Prealigner. Die Standard-Endeffektoren sind in Größen von 2“ (50mm) bis 12“ (300 mm) erhältlich und bieten Ihnen die Wahl zwischen der Horse Shoe- oder Paddle-Variante.

Unsere Endeffektoren zeichnen sich durch ihr geringes Eigengewicht und ihre hohe Steifigkeit aus, was sie zu einem unverzichtbaren Bestandteil Ihrer Fertigungsprozesse macht. Darüber hinaus können wir diese mit einer Vielzahl an Kontaktmaterialien wie PTFE, PEEK, VITON, KALREZ und vielen weiteren Optionen liefern, um Ihren spezifischen Anforderungen gerecht zu werden.

Endeffektoren - Serie iEE

Endeffektoren sind für das Handling von Wafern konstruiert, wie beispielsweise der Transport von einer Kassette zum Prealigner. Standard Endeffektoren sind für Wafer Größen von 2“ (50mm) bis 12“ (300 mm) als Horse Shoe oder Paddle Variante verfügbar.

Typen: Paddle 4-8" EE, Horse-Shoe 8-12" EE, Extended 4-8", Extended Horse-Shoe, Ceramic EE, Double EE, Friction EE und Exclusion Zone EE

verschiedene Kontaktmaterialien

Die Endeffektoren sind optional mit vielen verschiedenen Kontaktmaterialien wie PTFE, PEEK, VITON, KALREZ usw. lieferbar. Zudem bieten wir zu unseren Standards auch viele Sonderausführungen für ihre speziellen Wafer und Substrate an und konstruieren auch gerne neue Lösungen.

Typen: Warp / Bow Wafer, Through Beam EE, Edge Grip EE, Frame EE, Customized 4", Customized EE, Panel EE und Panel EE

Sonderausführungen

Neben unseren Standards bieten wir auch zahlreiche Sonderausführungen an, die auf Ihre speziellen Wafer und Substrate abgestimmt sind. Unser Expertenteam steht Ihnen zur Verfügung, um maßgeschneiderte Lösungen zu entwickeln, die perfekt auf Ihre Bedürfnisse zugeschnitten sind. Vertrauen Sie auf unsere Expertise und optimieren Sie Ihre Produktionsabläufe mit unseren innovativen Endeffektoren.

  • Pocket EE
  • Friction Wafer
  • Edge Grip EE
  • Exclusion zone Grip EE
  • Exclusion zone Vacuum EE
  • Multiple EE
  • Through Beam EE
  • Individuelle Lösungen

Optionen

  • Diverse Wafer Mapping Sensoren
  • Verschiedene Oberflächenbeschichtungen
  • Vakuumauswertereinheit
  • Flipmodul
  • Pusher

Unser Katalog für 
Wafer Handling Roboter

Unsere Produkte sind speziell entwickelt und konstruiert für die Halbleiterindustrie. Wenn Sie spezielle Anwendungen oder Produktanforderungen kontaktieren Sie uns. 

Mit mehreren tausend Systemen im Einsatz und vielen Jahren Erfahrung freuen wir uns auf Ihre Anfragen.