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Wafer-Handler für das Transportieren 
von Wafern, Masken und Substraten

Das Aushängeschild der isel Robotik sind Roboter für das Transportieren von Wafern, Masken und Substraten in der Halbleiterindustrie. Diese Wafer-Handler erfüllen die strengen Reinraum ISO 1 Anforderungen und überzeugen außerdem durch Präzision und Zuverlässigkeit. Seit über 15 Jahren werden diese Wafer-Handler in den unterschiedlichsten Wafer-Bearbeitungszellen, Sortern und Inspektionsanlagen weltweit sehr erfolgreich eingesetzt. Durch das Baukasten-Prinzip und einer großen Auswahl an Grundkörpern und Armeinheiten, sind sehr viele Kombinationsmöglichkeiten aus Standardkomponenten realisierbar.

Melanie Schulz

Vertrieb Semiconductor

+49 (0) 6659 981-737
melanie.schulz@isel.com

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Wafer-Handler der Serie 1

Roboter der Serie 1 sind für das Waferhandling konzipiert. Durch das Baukastensystem sind verschiedene Grundkörper von 7“ bis 21“ Z-Hub, mit vielen verschiedenen Armbaugruppen von 10,5“ bis 28“ kombinierbar. Abhängig von der Kombination der Achsen sind so Handhabungsgewichte bis 3 kg möglich.

iWH Single Arm

Wafer-Handler der Serie 3

Roboter der Serie 3 mit Dual Arm besitzen das Potenzial, den Durchsatz einer Anwendung zu steigern. Durch die beiden unabhängigen Arme, können Wafer sehr schnell ausgetauscht und somit Leerfahrten vermieden werden.

iWH Dual Arm

Die Anbindung weiterer Komponenten an den Isel Wafer-Handler (IWH), wie z.B. Mapping Sensor, Flipmodul, Alignment on the Fly Sensoren, Prealigner, Lineareinheit oder auch kundenspezifischer Endeffektor, ist einfach zu realisieren. Die Ansteuerung des Isel Wafer-Handlers erfolgt über den Advanced Controller. Der Betrieb mit einem Fremdcontroller ist ebenfalls möglich. Ein riesiges Portfolio an vorinstallierten Makros steht Ihnen bei der Programmierung zur Verfügung.