Wafer-Handler für das Transportieren
von Wafern, Masken und Substraten
Das Aushängeschild der isel Robotik sind Roboter für das Transportieren von Wafern, Masken und Substraten in der Halbleiterindustrie. Diese Wafer-Handler erfüllen die strengen Reinraum ISO 1 Anforderungen und überzeugen außerdem durch Präzision und Zuverlässigkeit. Seit über 15 Jahren werden diese Wafer-Handler in den unterschiedlichsten Wafer-Bearbeitungszellen, Sortern und Inspektionsanlagen weltweit sehr erfolgreich eingesetzt. Durch das Baukasten-Prinzip und einer großen Auswahl an Grundkörpern und Armeinheiten, sind sehr viele Kombinationsmöglichkeiten aus Standardkomponenten realisierbar.
Die Anbindung weiterer Komponenten an den Isel Wafer-Handler (IWH), wie z.B. Mapping Sensor, Flipmodul, Alignment on the Fly Sensoren, Prealigner, Lineareinheit oder auch kundenspezifischer Endeffektor, ist einfach zu realisieren. Die Ansteuerung des Isel Wafer-Handlers erfolgt über den Advanced Controller. Der Betrieb mit einem Fremdcontroller ist ebenfalls möglich. Ein riesiges Portfolio an vorinstallierten Makros steht Ihnen bei der Programmierung zur Verfügung.