3 tengelyes Logosol Prealigner LPA sorozat "Standalone" (önálló)

SKU
3-Achs Prealigner "Standalone"
Szállítási idő
kérésre
  • Igazítási idő <3,5 másodperc
  • Igazítási pontosság: lineáris 0,025 mm, körkörös 0,02°.
  • Átlátszó, félig átlátszó, perforált és átlátszatlan ostyák igazíthatóak
Do you have any questions?

Kapcsolatfelvétel

isel Hungaria Kft.

Zózsef A. utca 38
H-8200 Veszprém


Telefon/fax: +36 (0) 88/568-030

Mobil: +36 (0) 88 406 - 682


eMail: iselhungaria@isel.hu

isel Hungaria Kft

3 tengelyes Logosol Prealigner LPA sorozat "Standalone" (önálló)

Általános

    a 3 tengelyes előigazítók (önállóan működő) önállóan működő eszközök, amelyek 45 mm Ø - 480 mm Ø közötti ostyákat, valamint négyzet vagy téglalap alakú szubsztrátokat igazítanak ki nagy pontossággal, függetlenül azok átjárhatósági fokától. A különböző méretű tárgyak igazítása az előigazító mechanikus beállítása nélkül valósul meg. Az előigazító rendelkezik tokmánybetöltési és csapbetöltési üzemmóddal, valamint opcionális nagy pontosságú üzemmóddal, kétrétegű funkcióval (egymásra helyezett ostya) vagy külső érzékelőkkel az éljelzés érzékeléséhez. A tokmányon és a csapokon lévő vákuum segítségével az ostyát mindig biztonságosan tartják, és csak a hátoldalán érintik meg. A tokmány és a csapok, valamint a súrlódó tokmányok (vákuum nélkül) számos különböző érintkező anyaga választható. Mivel a 3 tengelyes előigazítók autonóm módon működnek, és RS232 és Ethernet interfésszel is rendelkeznek, az eszközök bármilyen általános robotrendszerbe integrálhatók.

    Jellemzők

    • Innovatív all-in-one kialakítás
    • Igazítási idő <3,5 másodperc
    • Igazítási pontosság: lineáris 0,025 mm, körkörös 0,02°.
    • Érintésmentes mérés LED és CCD érzékelő segítségével
    • Integrált mérőelektronika
    • Standalone-képes
    • Chuck vagy pinload, valamint váltás másik ostyaméretre átalakítás nélkül
    • Átlátszó, félig átlátszó, perforált és átlátszatlan ostyák igazíthatók egymáshoz
    • SEMI, lapos és rovátkolt ostyákra vonatkozó előírások
    • 2" és 18" közötti ostyaméretekhez
    • Oldalsó és alsó csatlakozópanelek kaphatók
ROBOTIK Allgemein/Generally
pdf
(Size: 4.8 MB)
Last update 2024/03/08

Jellemzők

Műszaki adatok

Prealigner modell

Önálló

Beágyazott

Élkezelés

26-3

38-3

58-3

312-3

812-3

1218-3

25-1E

38-1E

58-1E

312-1E

812-1E

1218-1E

Típus

Wafer
átmérő

2"

-

-

-

-

-

-

-

-

-

-

3"

-

-

-

-

-

-

100 mm

-

-

-

-

-

-

4EH, 45EH

125 mm

-

-

-

-

5EH, 45EH, 56EH

150 mm

-

-

-

-

-

6EH, 56EH

200 mm

-

-

-

-

8EH, 8ET

300 mm

-

-

-

-

-

-

12ET

450 mm

-

-

-

-

-

-

-

-

-

-

Négyzet alakú hordozók

n/a

Szögpontosság
(3 szigma)

10 000 CPR kódoló

0.04°

n/a

0.06°

n/a

0.04°

24 000 CPR kódoló

0.02°

0.04°

0.02°

Centrálási pontosság
(3 szigma)

25 µm

50 µm

25 µm

Maximális kezdeti eltolás

10 mm

12 mm

9 mm

10 mm

1.7-2,0 mm

Test
méretek

W

173 mm

95 mm

173 mm

L

267 mm

317 mm

404 mm

266 mm

328 mm

267 vagy 317 mm

H

190 mm

191 mm

190-196 mm

Súly

5.0-5,7 kg

3.4-3,8 kg

5.3-6,0 kg

Szervo tengelyek

három

egy

három

A kezelése

vákuum tokmány és csapok

vákuumcsapágy

élkezelés

Szükséges létesítmények

100-240VAC, 50-60 Hz, 48 V A vagy 24 V DC/2A, vákuum 12" Hg vákuumtartáshoz

Host interfész

RS232, Ethernet

Lapos / rovátkolt kompatibilitás

SEMI szabványoknak megfelelő

Wafer átlátszatlanság

átlátszó, félig átlátszó és átlátszatlan

Tisztaság

1. osztály

MTBF

több mint 70000 óra