Wafer Mapping Sensor Cyberoptics

Wafer-Mapping-Sensoren werden verwendet, um das Vorhandensein oder Nichtvorhandensein und Schlitzfehler (z. B. Kreuzschlitze) von Halbleiterwafern in Verarbeitungsanlagen zu erkennen.

Sie werden in der Regel an Roboterarmen oder anderen Geräten zur Handhabung von Wafern montiert. EX-QS-Wafer-Mapping-Sensoren sind universell einsetzbare Wafer-Mapping-Sensoren, die selbst die am schwierigsten zu erkennenden dunklen oder beschichteten Wafer hervorragend erfassen. EX-QS-Sensoren können für gekerbte oder abgeflachte Wafer verwendet werden.

• Lichtquelle: 2 x 850-mm-Diodenlaser
• optimaler Erfassungsbereich: 38 mm (1.5")
• Maximaler Erfassungsbereich: 40 mm (1.6")
• Laser-Klasse 1
• PNP