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Yaw axis
- Upgrade der 4. Achse für ein Drei-Achsen-System (Gierwinkel in der Z-Achse)
- In-Line-Handling von rechteckigen Substraten
- In-Line-Handling ohne Linear Track
- Upgrade für bestehende isel HD Wafer-Handling-Roboter
YAW AXIS
- Upgrade der 4. Achse für ein Drei-Achsen-System (Gierwinkel in der Z-Achse)
- In-Line-Handling von rechteckigen Substraten
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ROBOTIK Allgemein/Generally
(Größe: 4.8 MB)
Last update 2024/03/08
