Wafer Handler in der Praxis
1. Welches Zubehör gibt es für Wafer Handling Roboter?
Für das industrielle Wafer Handling sind neben den Wafer Handlern noch einige weitere Komponenten erforderlich. Dabei ist der Endeffektor die elementarste Komponente, da er als Aufsatz des Wafer Handlers das Substrat unmittelbar berührt. Durch die ständig steigenden Anforderungen der Halbleiterindustrie werden Endeffektoren immer öfter zur kundenspezifischen Lösung. Daher bieten wir von isel unseren Kunden neben einem Standardsortiment auch individuelle Endeffektoren-Lösungen. Ebenso kommen unterschiedliche Logosol Prealigner, Handbediengeräte und projektspezifisches Zubehör zum Einsatz. isel-Kunden erhalten Logosol Prealigner in unterschiedlicher Ausführung und für verschiedene Einsatzgebiete, beispielsweise sehr wirtschaftliche Ein-Achs-Logosol Prealigner oder absolute Speziallösungen für Edge-Handling. Auch moderne Handbediengeräte sind bei uns erhältlich. Beim Roboter-Zubehör beraten wir Sie individuell, um mögliche Störungen im laufenden Projekt von vornherein auszuschließen und bieten vorab kostenfreie Handhabungstests mit Logosol Prealignern oder Endeffektoren an.
2. Wodurch zeichnet sich ein guter Wafer Handler aus?
Ein guter Wafer Handling Roboter zeichnet sich neben anwendungsspezifischen Eigenschaften in erster Linie aus durch:
- Laufruhe
- Präzision
- Langlebigkeit
- Bedienfreundlichkeit
Ebenso wichtig sind umfassende Service- und Support-Leistungen und eine gute Erreichbarkeit des Herstellers bei möglichen Störfällen. Um eine durchgängige Produktion und einen maximalen Maschinendurchsatz zu gewährleisten, bieten wir unseren Kunden neben erstklassigen Robotern für die Halbleiterindustrie auch einen umfangreichen Support am Wochenende und eine kontinuierliche Projektbetreuung.
3. Wie langlebig sind Wafer Handler?
Bei täglichem Einsatz sind isel Handling Roboter für mindestens 7 Jahre ausgelegt. Wird ein Wafer Handler regelmäßig gepflegt und nicht voll ausgelastet, ist die Lebensdauer deutlich länger und kann bis zu 15 Jahren reichen. Wenn mechanisch beanspruchte Teile die ersten Verschleißerscheinungen aufweisen und der Roboter nicht mehr präzise und ruhig arbeitet, wird es Zeit für ein Refurbishing. Dabei werden in Abstimmung mit dem Auftraggeber alle Teile auf Beschädigungen geprüft und gegebenenfalls ersetzt. Der Controller wird auf die neueste Hardware- und Softwareversion aktualisiert. Der Handhabungs-Roboter ist so für einen Bruchteil des Neupreises einsatzbereit für die nächsten Jahre.
4. Wie hoch ist der durchschnittliche Durchsatz von Wafer Handlern?
Pauschal kann man die Frage nach dem Durchsatz nicht beantworten, da dieser von vielen unterschiedlichen Faktoren beeinflusst wird. Eine wichtige Rolle spielen z. B. das zu transportierende Substrat, der verwendete Endeffektor und die Größe des Roboters. Daher bieten wir allen Kunden eine kostenfreie Taktzeitstudie an, um bereits im Vorfeld eines Projekts die Durchlaufzeiten individuell zu ermitteln.
5. Wie erfolgt der Einbau von Handhabungsrobotern?
Generell ist der Einbau des Wafer Handling Roboters sehr einfach zu bewältigen. Ein isel Roboter wird mit detaillierten Einbauerklärungen ausgeliefert, die Aufschluss über die relevanten Einbauparameter und die notwendige Verkabelung geben. Sollten dennoch Fragen bestehen, steht Ihnen unser Service-Team gern mit Rat und Tat zur Seite.
6. Wie hoch ist der Energieverbrauch eines Wafer Handlers?
Der Energieverbrauch eines Wafer Handling Roboters ist im Vergleich zu den meisten energieverbrauchenden Prozessen der Halbleiterindustrie sehr gering. Je nach verwendetem Modell und Controller liegt dieser zwischen 300 und 500 Watt.
7. Wie präzise arbeiten Wafer Handling Roboter?
Grundsätzlich zeichnen sich alle isel Roboter durch eine hohe Wiederholgenauigkeit aus und werden von unseren Kunden wegen ihrer hervorragenden Verarbeitung und exzellenten Laufruhe über Jahre hinweg geschätzt. Die modellanhängigen Spezifikationen können den entsprechenden Datenblättern entnommen werden.
8. Wie reinigt man Handling Roboter von Wafern?
Da die Roboter in Reinraumumgebung arbeiten, werden diese nach der Endprüfung und vor der Verpackung in antistatische Folie von der isel Qualitätssicherung grundgereinigt. Um eventuelle, durch den Anlageneinbau entstandene Verunreinigungen zu beseitigen, wird der Teil des Roboters, der sich im sehr sauberen Arbeitsbereich (Mini Environment) befindet, vor der Inbetriebnahme der Anlage mit Isopropanol und speziellen fusselfreien Tüchern sorgfältig gereinigt.
9. Was kosten Wafer Handler durchschnittlich?
Die günstigsten Wafer-Modelle sind 3-Achs Roboter mit kleiner Reichweite. Je mehr Achsen der Roboter besitzt, je weiter seine Reichweite oder das ausgelegte Handhabungsgewicht ist, desto größer ist der Fertigungsaufwand und damit verbunden auch die Anschaffungskosten.