Endeffektoren

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Technischer Vertrieb iselRobotik


Andreas Möller

   Andreas Möller

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  1. Examples End effectors  - IEE Series
    Endeffektoren - Serie IEE
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  2. Vakuum-Auswertereinheit
    Vakuum-Auswertereinheit
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Endeffektoren sind für das Handling von Wafern konstruiert, wie beispielsweise der Transport von einer Kassette zum Prealigner

Standard iselROBOTIK Endeffektoren sind für Wafer Größen von 2“ (50mm) bis 12“ (300 mm) als Horse Shoe oder Paddle Variante verfügbar. Die Endeffektoren haben ein geringes Eigengewicht, hohe Steifigkeit und sind optional mit vielen verschiedenen Kontaktmaterialien wie PTFE, PEEK, VITON, KALREZ usw. lieferbar.

Zudem bieten wir zu unseren Standards auch viele Sonderausführungen für ihre speziellen Wafer und Substrate an und konstruieren auch gerne neue Lösungen.